تحقیق در مورد سنسور

اختصاصی از سورنا فایل تحقیق در مورد سنسور دانلود با لینک مستقیم و پر سرعت .

لینک پرداخت و دانلود *پایین مطلب*

فرمت فایل:Word (قابل ویرایش و آماده پرینت)

تعداد صفحه70

فهرست مطالب

میکرو سنسور شتاب

3 – 2 – 3 – سنسور شتاب تشدیدی

3- 2 – 2 – سنسور شتاب خازنی

3 – 2 – 4 – سنسور شتاب تونلی

3 – 3 سنسور سرعت زاویه ای ( ژیروسکوپ )

3 – 4 – سنسور گاز ما سفت میکروماشین شده

الف – چیپ سنسور

ب –Passivation, Metallization, Membrane

فرآیند ساخت

پهنای باند، سطح نویز، حساسیت محوری، drift، خطی بودن، محدوده دینامیک، قابلیت ابقا شوک و مصرف توان   می باشد. فرکانس رزونانس نیز مهم است زیرا محدوده مفید فرکانس بالای سنسور معمولاً کسری از فرکانس رزونانس  است، در حالی که حساسیت و جابجایی به ازای هر g شتاب را تعیین می کند.

به طوری که :

dg : جابجایی به ازای هر g

M و  Ksp: جرم و ثابت فنر قطعه

g :  9.8

Wo : فرکانس رزونانس زاویه ای

عموماً جابجایی عنصر حسگر بخش ضروری فرآیند حس کردن می باشد و dg بخش بهره حلقه باز سنسور است، بنابراین منجر به رابطه شدیداً معکوس بین حساسیت و پهنای باند برای هر کلاسی از سنسورها می شود.

نویز در شتاب سنج ها مشکلاتی بوجود می آورد. برای خود سنسور، برای خروجی الکترونیکی اش، برای damping مکانیکی و همه مقاومت های الکتریکی، سنسورهای MEMS خیلی کوچک هستند بنابراین نویز جانسون مقاومتهای مکانیکی باید در نظر گرفته شوند، در حالی که در سنسورهای بزرگتر این مشکل وجود ندارد.

تنها یک باکتری یا گرده خاک می تواند نیروی بزرگی را روی اجزا MEMS ایجاد کند. نیروی Brownian عبارتست از :

 F B =

که باعث حرکت Brownian می شود ( X B ) :

 = X B

در حالی که :

D = ضریب Damping