الیپسومتری یک روش حساس و بسیار دقیق نوری می باشد که در حدود صد سال است که برای بدست آوردن اطلاعاتی راجع به سطوح استفاده می شود. این روش بر پایه این واقعیت شکل گرفته است که حالت پلاریزاسیون نور، هنگامی که اشعه نور از یک سطح منعکس می شود، ممکن است تغییر کند. اگر سطح با یک لایه نازک ( یا یک دسته از لایه های نازک ) پوشیده شده باشد، سیستم نوری لایه و زیرلایه ها بر روی پلاریزاسیون نور اثر می گذارد. با استفاده از همین مساله است که می توان اطلاعاتی راجع به خواص و ویژگیهای سطح بدست آورد، بویژه می توان ضخامت لایه های مورد نظر را محاسبه کرد.
مقدمه ای بر الیپسومتری برای بررسی سطوح
